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    3. 材料特性

      • 全氟橡膠 FFPM

        全氟橡膠FFPM全氟橡膠(Perfluoroelastomer)優點:· 最佳耐熱特性· 優異的抗化學特性· 低Outgassing 特性· 優異之抗Plasma特性缺點:· 耐低溫特性較差· 原料價格較高· 生產難度較高?適用于:· 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

        2021-05-18 38

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